ASML再次“表白”

　　光刻机被誉为工业皇冠上的明珠，全球能生产的只有四家企业，荷兰ASML、日本佳能、尼康以及我国的上海微电子。然而，能满足市场需求的却只有ASML公司，它占据了全球光刻机市场90%以上的份额，同时也是唯一能生产EUV光刻机的厂家。

　　不过，ASML的光刻产线上并没有多少属于它自己的技术，甚至可以说是相当杂乱，EDA软件、数控机床、蔡司光源等核心技术设备分别来自全球各国，ASML5%的技术占比与美国的20%相去甚远，因此，完全处在老美的出口管制规则之内。

　　EUV光刻机作为芯片制造的必需设备，是我国芯片自主道路上最大的拦路虎。在中科院等机构确定了光刻技术的科研任务目标后，ASML表现出的态度相当微妙，先是泼来冷水，表示：即便把图纸给中国，他们也造不出来。但紧接着又先后四次示好中国市场。

　　为什么会这样呢？一方面是或许EUV光刻机的自主研发确实有难度；另一方面，ASML不想看到我们实现光刻自主，或者说是不想被排除在我国市场之外，要知道，我们是全球最大的半导体消费市场，没有哪个企业会不心动。

　　继出口给中芯12亿美元的光刻设备之后，在4月15日，ASML首席官PeterWennink再次发声，除了“表白”我国市场之外，还表达了对芯片限制的看法。

　　PeterWennink表示，“中国市场是无可替代的，我们非常乐意愿意提供设备技术，虽然现在无法出口EUV光刻机，但我们从未放弃努力，未来将加大投资布局，想办法绕开所谓的管制。

　　谈到芯片问题，PeterWennink回应：“对华限制出口，只会适得其反，中国现阶段的技术设备虽然不够先进，可发展速度却很快，实现技术自主是必然的，最终受到损失的只会是美企”。

　　虽然ASML态度明确，可暂时无法给我们提供EUV光刻机也是不争的事实。

　　不否认EUV光刻机的重要性，问题是，即便我们拥有了这样的设备，就真的能拯救整体较为落后的中国半导体吗？

　　答案估计会让很多人感到失落。

　　可惜，光刻机拯救不了中国半导体

　　在芯片自主的问题上，或许是由于光刻设备比较特殊，又加上舆论的影响，放大了光刻机的重要性，以至于我们逐渐“失焦”，形成了“突破光刻机就等于实现芯片自主”的印象，从而忽略了其他和光刻一样重要但不太出名的设备。

　　事实上，光刻机只不过是芯片产业制造工序中的一个部件而已，并不能对芯片制造起到决定性的作用。因为造芯所需要的设备何止上百种，以我国16%左右的自给率，除了光刻机之外，还有不下八十种设备需要突破。

　　“一代装备、一代芯片”是半导体行业的共识，所谓“一代”是指整条产线，并非是单个设备。也就说，即便我们有了最先进的EUV光刻机，但其他设备跟不上，一样无法独立制造高端芯片。

　　半导体产业所涉及的设备太多样化了，大体可以分为七个生产区域板块，分别是扩散、光刻、刻蚀、离子注入、薄膜生长、抛光、金属化。

　　这七个生产区域板块都对至少对应着三五种生产工艺，而每项生产工艺又分别有它核心的专用设备。

　　因此我们在讨论芯片自主之前，必须要先搞清楚国产设备的现况。

　　比如扩散设备，国际主流水准达到了14/7nm，而我们最先进的北方华创，目前只有65/45/28nm的水平，在该领域，我们只有3%左右的自给率，日、美企业仍处垄断地位。

　　薄膜沉积设备，国际主流水准为14/7nm，但我们的国产替代化水平只有45/28nm的工艺精度，落后2-3个隔代。

　　CVD/PVD设备，PVD方面美国应用材料一家独大，占全球80%以上的份额；CVD方面，东京电子占全球70%左右的份额。好消息是，我们的14nmPVD已经在产线验证阶段。

　　光刻设备中的涂胶/显影设备，我们自给率只有4%，日、美企业则拥有87%左右的全球市场份额。

　　七八十种就不一一列举了，总体来看，我国半导体产业的崛起之路任重而道远，EUV光刻机并不是“救命稻草”。

　　危机中往往与孕育着机遇

　　虽然我们的设备不够先进，可不难发现，我们的产业链上并没有什么缺失，国外有的我们全都有，只不过没有他们的产品那么好看、好用而已。落后不可怕，只要不偏科就不是什么大问题。

　　诚然，西方的技术限制一度给多家中企带来了危机，然而，危机中往往孕育着机遇！

　　我们的半导体设备之所以落后，除了起步晚的原因之外，更是由于没有融入到全球市场的产业链之中，影响力和口碑是关键，可惜此前我们一直都没机会拥有。

　　为什么会没有提升影响力和口碑的机会呢？

　　要知道半导体是最烧钱的重资产行业，设备投资占比80%，且决定着造出来的产品的性能和质量。因此，几乎所有的晶圆厂在采购设备之时都非常慎重，宁可花高价去采购成熟先进的国外设备，也不愿意在没有证明过自己的国产设备上尝试。

　　这导致海外先进的设备厂订单时常饱和，而国内欲求发展的设备厂商却经常无人问津。

　　不过，美国的技术封锁给我们带来危机的同时，却也给国产设备厂商创造了机会。

　　国内晶圆厂在无法采购海外设备的情况下，只能退而求其次地选择国产设备，有了买卖就会有口碑，有了口碑就会有持续的合作和更广阔的市场，技术更新也就能快速跟上节奏。在正常情况下，国产设备厂商付出大量成本都不一定能够争取到的产能订单，在禁令之下却能直接实现。

　　中微半导体和北方华创就是最好的证明，在得到中芯的订单后，业内的认可度便直线提升，现在已经有越来越多的国内外晶圆厂主动“投怀送抱”。

　　就目前的情况来看，国产半导体在西方限制之下正在加速形成良性的内需循环，崛起之时也许不远，可绝对没有弯道超车的捷径，唯一的办法只有脚踏实地、团结合作、付出更多的智慧和汗水。

　　总结

　　这样积极的科技发展环境是我们最期待的，不过却仍未到最佳状态。如果那些有钱、有人、有技术的顶流互联网科技企业们，能够把开发游戏、搞金融借贷、社区买菜等业务的劲头儿用在科技创新上，或许我们的半导体产业就会一日千里。

　　可惜没有如果，人各有志。

　　对此，你们怎么看，欢迎留言评论，为国产半导体的发展出谋划策。